НИКА-2014 ПЛАЗМОХИМИЯ ЛВТ
17.04.2017
В этом году общественности презентована новая разработка Лаборатории вакуумных технологий, именуемой «Beams&Plasmas». Рабочее название проекта – «НИКА-2014 плазмохимия». По результатам анкетирования и аналитики установка стала лучшей инновацией года. Как результат, компания была удостоена приза 12-й Международной выставки вакуумных изобретений «ВакуумТехЭкспо».
Свое применение проект найдет в осаждении и травлении поверхностей. В частности, внедрением инновации интересуются компании, представляющие оборонную промышленность, радиоэлектронику, оптику, МЭМС-технологии.
Составными элементами системы являются емкость размером 35х30 см, генератор плазмы РПГ 250, конструкции травления/осаждения, стол со специальным гелиевым теплоотводом.
Сам производитель и авторы проекта работают в Зеленограде и считаются известным изобретателем импортозамещающих товаров в России. Под их руководством созданы и другие знаменитые проекты. В частности, вакуумные устройства и агрегаты для обработки металлических покрытий. Все установки выполнены из российских компонентов.