Технологии и установки «ЛВТ» на ВТЭ-2017

Компания «ЛВТ», один из представителей профильных резидентов Технопарка «ЭЛМА» регулярно представляет собственные технологические разработки и оборудование на престижных международных экспозициях.

Так, в апреле 2017 года в павильонах ВТЭ-2017 предприятие выставляло новейшие на тот момент установки для нанесения (напыления) слоев различных материалов и выполнения других работ с использованием методов плазмохимии.

Компания предложила вниманию специалистов-производственников и технических экспертов установки НИКА-2014 ПХТ и НИКА-13 ПР-С.

НИКА-2013 — оборудование для промышленного применения, характеризующееся значительным объемом загрузки, оперативной перезагрузкой, сухой откачкой. Предназначена установка для:

• создания слоев материала с высокими резистивными характеристиками;
• ионного травления;
• магнетронного осаждения металлических плёнок значительной толщины (с использованием технологий вакуумного испарения в магнетронном разряде при воздействие высоких температур);
• получения многокомпонентных слоев.

В состав оборудования входят:

• рабочая камера, оснащённая магнетронами (4 щт. максимум);
• нагревательный элемент;
• источник заряженных частиц.

Предусмотрено оснащение дополнительными устройствами различного функционального назначения. Промышленная установка позволяет проводить обработку 136 или 48 подложек (прямоугольной формы размером до 60х48 или круглой диаметром до 100 мм соответственно). Доступно три модификации:

• РС — осаждение резистивных слоев;
• ПС — напыление слоёв с проводящими свойствами;
• МО/МТ — осаждение и травление методами плазмохимии (магнетронными).

НИКА-2014 — новейшая техника, реализующая технологии травления и напыления с использованием методов плазмохимии (удаление или осаждение слоев материалов в высокотемпературной плазменной среде). Оборудование может найти применение при создании микроструктур в объеме полупроводников, в современных производствах, например, MEMS и высокопрецизионных оптических компонентов.

В состав комплекса входят:

• рабочая камера;
• плазмогенератор РПГ-250;
• стол с функциями нагрева и охлаждения (отвод тепла осуществляется с использованием гелия);
• система мощных магнитов;
• оборудование сухой откачки.

Предлагается две модификации: ПХТ — травление, ПХО — нанесение слоев материала.

Кроме того, на стендах были представлены датчики собственной разработки серий ВТРЦ, ВМЦ. Цифровые измерительные компоненты относятся к категориям датчиков низкого и высокого вакуума, обладают характеристиками (прецизионностью, защитой аналоговых цепей от помех), превосходящими серийные образцы, для замены которых предназначены.

ЛВТ Beams&Plasmas (Технопарк «ЭЛМА», Зеленоград) — компания, работающая в области разработки и производства вакуумных технологических установок, импортозамещения зарубежных аналогов. Компания предлагает:

• серийные технологические линии «Ника» для создания пленок металлов (электроника, электротехника, другие отрасли);
• широкий выбор других вакуумных установок для технологических процессов;
• модернизацию, разработку по ТЗ заказчика и изготовление вакуумного оборудования.